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      STACIS 4主動隔振系統

      • 型  號:STACIS 4
      • 名  稱:STACIS 4主動隔振系統
      • 英文名稱:
      • 品  牌:TMC
      • 發布時間:2017/5/15 16:31:52
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      • 下載中心

      STACIS®4是**的主動隔振系統。它裝有慣性振動傳感器,配合精準的控制算法與先進的壓電作動器。STACIS 4可實時偵測地面振動,再憑借壓電作動器的收縮或膨脹即刻消除地面振動。全新的STACIS 4建立在我們成熟的STACIS技術基礎上,該技術被全球十大半導體制造商中的九家所使用。
      起初STACIS是為半導體工廠的精密光刻機,計量儀和檢測設備而設計,如今是嘈雜環境中z敏感儀器的行業標準隔振解決方案,包括但不限于故障分析,納米技術研究,納米制造,結構生物學和材料研究等應用。
      STACIS 4包括新改進的,低噪聲的數字控制器,DC-2020帶有雙核處理器。這種新的控制系統為使用者提供了一個易用的圖形用戶界面(GUI)。

      STACIS 4建立在前幾代的成功架構上,增加了先進的控制算法和新的專有技術。以前無法實現對建筑物地面所有頻率的振動消除,但特別是10Hz以下的振動,對高分辨率成像和計量來說*敏感的。當與FloorSense?技術相結合時,STACIS 4在2Hz時可減少60 dB的建筑物地面振動,在1Hz時可減少27dB。

      產品優點:

      STACIS 4相比于氣浮支腿更加堅固可靠,且不存在氣浮隔振系統離不開氣源的局限性。它無氣浮支撐,并且與主動的氣浮系統不同。STACIS 4可以放置在具有內部主動空氣隔離系統的設備下面,且兩個隔振系統相互兼容。
      獨特的串聯設計和專有的壓電技術所產生0.2 Hz至150 Hz的寬帶隔離,在2Hz時可減少99.9%的振動。
      比STACIS III更好的振動控制,與行業標準解決方案相比,STACIS 4將2 Hz的振動控制提高了60 dB以上。
      穩定的串聯設計允許使得您安裝后即可,無需再次安裝調試,不像并行式設計本質上是不穩定的,需要頻繁調整以保持峰值性能。此外,STACIS 4允許兩級振動控制設計,可以在STACIS III系統之上結合被動或主動的平行平臺。隨著對儀器的振動分辨率的要求越來越高,兩級設計正變得越來越普遍。
      STACIS 4的性能相當于在穩定的地面上減少5個VC曲線的振動。這種性能使用戶能夠靈活地在不理想的振動環境中安裝儀器,從而在設施布局和設計方面具有更大的適配性。



       
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